近日，溫州先鋒閥門有限公司自主研發(fā)的“HGU 高性能半導(dǎo)體用球閥”獲得國家實(shí)用新型專利授權(quán)(專利號:ZL202422218105.6)。該產(chǎn)品專為半導(dǎo)體制造等高真空應(yīng)用場景設(shè)計(jì)，在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、密封性能與國產(chǎn)適配性等方面取得關(guān)鍵突破，為實(shí)現(xiàn)核心工藝環(huán)節(jié)的國產(chǎn)替代提供了有力支撐。

聚焦關(guān)鍵性能，突破高真空技術(shù)壁壘
  據(jù)介紹，HGU 球閥針對半導(dǎo)體制造中對極限真空、高潔凈度及熱控穩(wěn)定性的多重要求，進(jìn)行了系統(tǒng)性優(yōu)化，主要產(chǎn)品特性包括:
  1.弧面全包球體結(jié)構(gòu):閥體內(nèi)腔采用全包惠式弧面設(shè)計(jì),徹底消除球體與閥體間的縫隙死角，避免氣體殘留，使真空度穩(wěn)定維持于1x10Tor(約1.33x10“Pa)，氨檢率<1x109std.cc/sec，滿足晶圓傳輸?shù)某瑵崈魳?biāo)準(zhǔn)。
  2.熱傳導(dǎo)優(yōu)化架構(gòu):整體采用實(shí)心材料加工，縮短閥門長度并擴(kuò)大端口尺寸，最大化提升與加熱部件的熱傳遞效率，可配置加熱/隔熱模塊，保障工藝溫度穩(wěn)走性。
  3.動態(tài)密封抗污染:階梯式密封圈與嵌入式骨架協(xié)同作用，即使萬次啟閉后仍保持“零蠕變”，防止微粒脫落污染真空腔室。
打破壟斷依賴，加速國產(chǎn)化與快速交付
  長期以來，高真空閥門領(lǐng)域主要由歐美日等國外企業(yè)主導(dǎo)。 HGU 球閥的推出，標(biāo)志著國內(nèi)企業(yè)在關(guān)鍵部件性能上取得實(shí)質(zhì)進(jìn)展。產(chǎn)品支持DN63至DN100口徑，兼容GB4892/S0-KF與GB6070/S0-F等多種連接標(biāo)準(zhǔn)，適配各類國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備，具備良好的集成性。根據(jù)企業(yè)方面提供的數(shù)據(jù)，產(chǎn)品在交付周期上可比進(jìn)口產(chǎn)品縮短30%，整體成本降低約60%，并在長三角、珠三角等產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)提供最快48小時(shí)現(xiàn)場響應(yīng)服務(wù)，大幅提升本土供應(yīng)效率。
可靠性能保障極端工況應(yīng)用
  溫州先鋒總工程師表示，這款HGU 高性能半導(dǎo)體用球閥在真空管路系統(tǒng)中表現(xiàn)非常出色，能夠持續(xù)保持清潔的動態(tài)密封，防止因故障導(dǎo)致的系統(tǒng)污染。該閥門以其極高的可靠性，適用于半導(dǎo)體制造中最具挑戰(zhàn)性的高真空環(huán)境，保障設(shè)備穩(wěn)走運(yùn)行和工藝安全

  隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對高真空關(guān)鍵部件需求的不斷提升，溫州先鋒" HGU 高性能半導(dǎo)體用球閥"憑借其卓越的技術(shù)創(chuàng)新和可靠性能，正逐步成為國產(chǎn)高端閥門市場的重要力量。未來，先鋒閥門將持續(xù)深耕技術(shù)研發(fā)，推動更多關(guān)鍵裝備實(shí)現(xiàn)自主可控，為中國半導(dǎo)體制造的高質(zhì)量發(fā)展貢獻(xiàn)堅(jiān)實(shí)支撐。

拼閥網(wǎng)編輯：小林
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